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FS4000微型空氣流量傳感器

產(chǎn)品時(shí)間:2021-08-27

簡(jiǎn)要描述:

FS4000微型空氣流量傳感器是采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù),專(zhuān)為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量,低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控,還可用于環(huán)境采樣器(如色譜分析儀器等)

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FS4003流量傳感器,管道內(nèi)徑為3mm,成本低測(cè)量范圍大到5SLPM;適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類(lèi)分析儀器。

FS4008流量傳感器,管道內(nèi)徑為8mm,測(cè)量范圍大到50SLPM;可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測(cè),如:空氣采樣機(jī),氣體分析儀等

FS4000微型空氣流量傳感器產(chǎn)品特點(diǎn):

   - 專(zhuān)為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)

  - 支持多種連接方式,易于安裝與使用

  - 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳感器的高精度計(jì)量

  - 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高

  - 輸出方式靈活,既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢(xún)輸出數(shù)據(jù),也可通過(guò)模擬接口輸出線性的模擬電壓

  - 零點(diǎn)穩(wěn)定度高

  - 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性

  - 低功耗、低壓損

  - 響應(yīng)速度快

FS4000微型空氣流量傳感器機(jī)械尺寸:

性能參數(shù)

FS4003

FS4008

單位

通徑

3

8

mm

大流量

2, 3, 4, 5

10, 20, 30, 40, 50

SLPM

量程比

100:1

精度

±(1.5+0.2FS)

%

重復(fù)性

0.5

%

零點(diǎn)輸出飄移

±30

mV

輸出飄移

0.12

%/oC

響應(yīng)時(shí)間

10(默認(rèn)、20、50、100、200、500、1000可設(shè)置)

ms

工作電源

8~24Vdc,50mA

輸出方式

線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc

大流量壓損

100

600

pa

大工作壓力

0.5

MPa

工作溫度

-10 ~ +55

oC

存儲(chǔ)溫度

-20 ~ +65

oC

工作濕度

<95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露)

機(jī)械接口

BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭

校準(zhǔn)方式

空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa

重量

52(帶R1/4,BSPT1/4接口)
71(帶4mm,8mm快速接口,68(帶6mm快速接頭)

g

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